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金刚石的热等离子体化学汽相沉积的工艺研究第Ⅰ部分：基体…

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来源
《国外核聚变与等离子体应用》 |1993年第4期|45-52|共8页
作者
LuZP; 丁晓加;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类薄膜物理学 ;
关键词
金刚石 ; 热等离子体 ; CVD ;

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