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RF偏压电极对微波等离子体的影响

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来源
《国外核聚变与等离子体应用》 |1994年第5期|25-29,19|共6页
作者
Ohtsu.Y; 罗治;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TL612.1;
关键词
微波等离子体; rf鞘; 鞘振荡; 射频偏压电极;

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