基于ExtendSim的单晶硅生产线仿真研究

摘要

针对单晶硅生产线生产工艺和生产工序之间的复杂性问题,研究了离散事件仿真方法,构建了单晶硅生产线仿真模型的评价分析指标体系,采用ECRS原则对某单晶硅生产线进行了无删减的生产简化,利用ExtendSim软件,采用层级仿真建模法,对该单晶硅生产线进行了仿真.仿真结果表明该单晶硅生产线仿真是符合现行生产方式的,完整全面地反映了现实生产情况,所建立的指标体系对仿真结果的评价分析是可信的,通过指标体系分析,发现了该单晶硅生产线存在的问题.