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全自动化学抛光机系统设计

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摘要

针对碲锌镉晶片的化学抛光处理工艺需求,按照全自动工艺处理要求,设计了一套全自动化学抛光设备,实现了自动上下料、自动抛光、自动清洗吹干等工艺步骤,并介绍了全自动化学抛光设备的系统设计及实现.

著录项

来源
《电子工业专用设备》 |2021年第6期|28-31|共4页
作者
薛书亮; 张博; 赵永进; 王文丽; 潘峰; 陈威;
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作者单位

中国电子科技集团公司第四十五研究所北京 100176;

中国电子科技集团公司第四十五研究所北京 100176;

中国电子科技集团公司第四十五研究所北京 100176;

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中国电子科技集团公司第四十五研究所北京 100176;

中国电子科技集团公司第四十五研究所北京 100176;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体器件制造工艺及设备;
关键词
碲锌镉晶片; 化学抛光机; 系统设计;

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