声表面波器件金属膜自动化剥离技术

摘要

介绍了声表面波器件金属膜剥离工艺及自动化设备,包括设备用途、功能和结构组成,能完成厚度在0.20～1.00 mm具有基准边的100～150 mm标准圆片金属膜剥离、冲洗和甩干工艺.与传统的槽式批处理剥离清洗技术相比,可以提高产品成品率,避免交叉污染,确保器件规格(线条尺寸)、性能、可靠性等指标不会因剥离工艺(Lift off process)影响而劣化.