硅片自动喷砂机的设计与使用

摘要

本文阐述了硅片自动喷砂机的原理、主要结构特点、技术性能及使用方法。过去我们厂生产的双向可控硅采用手工磨片工艺,其通态压降大,易产生碎片,操作人员劳动强度大,工效低,且合格率仅为40～50％。使用喷砂工艺后,通态压降的合格率达90％以上,并减少了碎片,提高了工效,降低了生产成本,取得了明显的经济效益和社会效益。