用精确数字模拟方法建立激光对准模型

摘要

该文叙述了对准装置的三维计算机模拟技术和一些范例的计算。这项技术的开发为未来ＶＬＳＩ技术的发展，找到了对准和套剂精度问题的答案。分析的根据是通用的有限元电磁波３传播码ＥＭＦＩｅｘ，它严格地模拟三维地准标记光的散射。Ｎｉｋｏｎ激光涉进机对准（ＬＳＡ）装置作为模拟仪器，模拟了套刻误差和信号形状，他理想化的不对称金属标记的情况，表明严密模拟的初步结果，与以前所用的一维菲涅耳近似法有着实质性区别。