256M／1G DRAM生产线的检测设备

摘要

介绍２５６Ｍ／１Ｇ ＤＲＡＭ生产线的检测设备，包括裸圆片，带图形圆片，膜厚及特性，条宽／线宽，掩模版，后道工序，环境检测设备，成品测试和环境试验设备。