90～65nm清洗新技术

摘要

简单说明了清洗技术在90～65 nm节点技术阶段的新发展,着重介绍了一种新的清洗技术-低温冷凝清洗技术产生的背景、技术现状及其应用,对我国半导体清洗行业的未来发展提出建议.