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悬臂梁微尖端器件的制备与应用研究进展

         
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摘要

随着扫描隧道显微镜(SPM)家族的成熟,悬臂梁微尖端MEMS器件的广泛应用前景也逐渐清晰.对悬臂梁微尖端MEMS器件的种类、微尖端制作方法以及现今的研究应用方向进行了论述,最后指出了悬臂梁微尖端MEMS器件向着大规模阵列化发展的方向.

著录项

  • 来源
    《电子工业专用设备》 |2005年第1期|15-19|共5页
  • 作者

    焦斌斌; 陈大鹏; 叶甜春; 欧毅; 董立军; 杨清华;

  • 作者单位

    中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室,北京,100029;

    中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室,北京,100029;

    中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室,北京,100029;

    中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室,北京,100029;

    中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室,北京,100029;

    中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室,北京,100029;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 一般性问题;
  • 关键词

    扫描隧道显微镜; MEMS; 微尖端; 悬臂梁;

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