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基于以太网通讯模块的MOCVD设备控制系统设计

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摘要

根据MOCVD设备中控制量多、实时性强的要求,选用OMRON公司的10M以太网模块实现上位机与PLC之间的高速数据传输.介绍了以太网模块ETN21的安装与设置方法,给出基于UDP协议的以太网通讯程序.

著录项

来源
《电子工业专用设备》 |2007年第9期|20-24|共5页
作者
胡晓宇; 杨友才; 何华云; 邹春艳; 王慧勇; 李学文;
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作者单位

国防科学技术大学,湖南,长沙,410000;

中国电子科技集团公司第四十八研究所,湖南,长沙,410111;

怀化职业技术学院机械工程系,湖南,怀化,418000;

中国电子科技集团公司第四十八研究所,湖南,长沙,410111;

中国电子科技集团公司第四十八研究所,湖南,长沙,410111;

中国电子科技集团公司第四十八研究所,湖南,长沙,410111;

中国电子科技集团公司第四十八研究所,湖南,长沙,410111;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体器件制造工艺及设备;
关键词
以太网; MOCVD; 控制系统; FINS; 通讯; PLC;

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