EV Group推出全新Gemini FB系列旗舰级融合接合系统提供更高产出量与自动化功能

摘要

微机电系统（MEMS）、纳米技术与半导体晶圆接合与微影技术设备领导厂商EVGroup（EVG），日前宣布推出旗下经业界验证与肯定的GeminiFB融合接合机系列之全新旗舰机型。