划切加工中晶圆的图像识别

摘要

针对划切设备加工中的一种常见材料LED 蓝宝石晶圆，来实现全自动对准与划切的要求，对于如何通过晶圆图像进行定位对准，详细阐述了一种基于边缘检测和模板匹配的定位方法。%Be aim to the request of the consum ers about autom atically ororientation and incision on the LED sapphire w afer,this article discuss an im age ororientation m ethod based on edge abstracting and pattern m atching.