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基于MATLAB的升降式抖动机构运动仿真

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摘要

通过对晶圆清洗过程中常用抖动机构的分析,将其等效为偏心曲柄-滑块机构.建立数学模型,分别推导出曲柄的角位移、角速度、角加速度和滑块的位移、速度、加速度,并应用MATLAB软件进行仿真,得到了滑块的位移、速度及加速度曲线.

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来源
《电子工业专用设备》 |2015年第12期|38-41|共4页
作者
郭春华; 史霄; 吴光庆; 秦亚奇;
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作者单位

中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京101601;

中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京101601;

中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京101601;

中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京101601;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类机械传动机构 ;
关键词
晶圆 ; 清洗 ; 抖动机构; 偏心曲柄-滑块;

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