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半导体专用设备的电气控制柜设计研究

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摘要

对电气控制柜的整体到局部进行了全方面描述,如总体配置的设计、关键组成模块的原理和接线图设计,乃至控制柜的工艺和人机工程设计等.对于推动半导体专用设备的标准化、系列化研制具有重要作用.

著录项

来源
《电子工业专用设备》 |2015年第11期|50-56|共7页
作者
赵立华; 任晓庆; 杨晓静; 杨松涛;
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作者单位

中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京100176;

中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京100176;

中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京100176;

中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京100176;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类制造工艺及设备;
关键词
专用设备; 控制柜; 原理与接线图; 人机工程;

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