首页> 中文期刊> 《电子工业专用设备》 >基于SU8020扫描电镜光学系统合轴研究

基于SU8020扫描电镜光学系统合轴研究

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

详述了扫描电镜的工作原理,特点;SU 8020扫描电镜基本结构和光学系统的详细构成,以及如何使SU 8020扫描电镜更快,更好地进行光学系统的合轴调试,从而使SU 8020扫描电镜处于最佳的工作状态.

著录项

来源
《电子工业专用设备》 |2017年第1期|14-18|共5页
作者
吴文涛; 徐磊; 王振亚;
展开▼
作者单位

中国电子科技集团公司第五十五研究所,江苏南京 210016;

中国电子科技集团公司第五十五研究所,江苏南京 210016;

中国电子科技集团公司第五十五研究所,江苏南京 210016;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类测试、调整及其设备;
关键词
扫描电镜; 光学系统; 合轴;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 基于粒子群算法离轴多反光学系统设计 [J] . 吴越 ,王丽萍 ,于杰 . 中国光学 . 2021,第006期
2. 基于动态电子目标模拟离轴的光学系统设计 [J] . 陈景霞 . 长春工业大学学报（自然科学版） . 2020,第001期
3. 基于矢量像差理论的离轴反射光学系统初始结构设计 [J] . Cao Chao ,Liao Zhi-Yuan ,Bai Yu . 物理学报 . 2019,第013期
4. 基于光学自由曲面的离轴三反光学系统 [J] . 孙素平 . 科技创新与应用 . 2017,第008期
5. 基于自由曲面的大视场离轴四反光学系统设计 [J] . 黄辰旭 ,刘欣 ,潘枝峰 . 激光与红外 . 2016,第003期
6. 高分辨率离轴三反相机光学系统公差分析与研究 [C] . Tian Tieyin ,田铁印 . 中国空间科学学会空间机电与空间光学专业委员会2012学术年会 . 2012
7. 多类特征激光束在傍轴与非傍轴复杂光学系统中传输变换特性的研究 [A] . 梅掌荣 . 2008

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号