330mm×330mm非球面超精密磨削加工质量与效率优化

摘要

目前中心的大口径非球面光学元件小批量生产基本满足了神光Ⅲ原型装置的生产要求，但是离主机装置对大口径非球面光学元件的精度和性能要求尚有较大距离。原型装置中的非球面元件加工中，采用人工修抛将球面加工至非球面，这类传统光学元件制造技术越来越不能满足神光Ⅲ主机装置对大口径、高精度非球面光学元件批量化和高精度的要求。