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目录
第1章 绪论
1.1课题背景及研究目的和意义
1.2国内外研究现状及分析
1.3本文的主要研究内容
第2章 非球面红外透镜的超精密磨削方法对比研究
2.1引言
2.2典型红外透镜的物理特性及几何轮廓
2.3非球面磨削方法的种类及分析
2.4金刚石砂轮型式的选择
2.5垂直磨削法与平行磨削法对比分析
2.6本章小结
第3章 圆弧形金刚石砂轮的在位精密修整技术
3.1引言
3.2旋转磨棒端部在位精密修整砂轮方法的研究
3.3旋转磨棒外圆柱面在位精密修整砂轮方法的研究
3.4本章小结
第4章 非球面的磨削纹路抑制策略及加工工艺研究
4.1引言
4.2磨削纹路研究
4.3砂轮性能参数对磨削加工表面质量的影响分析
4.4单晶硅粗磨加工实验研究
4.5超精密磨削非球面工艺实验研究
4.6大尺寸非球面透镜超精密磨削加工
4.7本章小结
第5章 修整及磨削过程的声发射在线监测技术研究
5.1引言
5.2声发射信号在线监测技术方案
5.3砂轮修整过程的声发射在线监测技术研究
5.4磨削加工过程的声发射在线监测技术研究
5.5本章小结
结论
参考文献
攻读学位期间发表的学术论文及其它成果
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致谢
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