光学非球面超精密磨床床身动态分析与优化

摘要

采用CAD／CAE集成技术，在CATIA和ANSYSWorkbench软件平台上建立了超精密磨床床身的CAD三维模型和有限元模型，对其结构进行了动态分析与优化，并得到了床身的最优结构，分析结果表明综合改进后的床身结构相比原床身结构的动态性能有了明显的改善，达到了设计要求。