超精密单点金刚石飞切机床研制

摘要

KDP晶体是一种优质的非线性光学材料，其作为光学倍频转换器及电光开关元件在ICF高功率固体激光系统中发挥着重要作用。KDP晶体具有质地软、易潮解、脆性高、高温度敏感性等特点，是一种非常难加工的光学材料，但是ICF激光系统对KDP晶体元件的表面粗糙度提出了极高的要求（RMS≤5nm）。目前，国内在大口径KDP晶体的加工设备及加工技术方面与国外先进水平尚有一定差距，依靠自主力量研制超精密加工设备解决大口径KDP晶体光学元件的加工工艺难题已成为当务之急。