微结构功能表面的超精密超声辅助金刚石飞切机理研究

摘要

二十一世纪随着科技的发展,微结构功能表面越来越精密化、多样化,其在航空航天、通讯设备、医疗设备、微光学元件等制造业中拥有广泛的应用前景.金刚石飞切加工是一种高效的能加工出比较复杂的表面结构的超精密加工技术,它可以在没有后期抛光的情况下直接加工出具有纳米级表面质量和亚微米级面形精度的微结构表面,但是,该技术的成功实现依赖于锐利的超硬金刚石切削刀具、高精度高刚度的设备及其它周边技术的支持,实施起来成本高,难以进入实用阶段.