基于碳化硅的高温压力传感器芯片在国内的研究进展

摘要

碳化硅材料凭借其具有一定的压阻效应、较大的带隙、较强的抗腐蚀性能等优点,在压力传感器领域有不错的应用前景,可广泛应用于高温、强辐射、强腐蚀等硅材料无法胜任的极端恶劣的环境中。本文以国内碳化硅高温压力传感器的研究现状为背景,简单介绍几种不同结构类型的碳化硅高温压力传感器。