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一种MEMS压力传感器的工艺设计与仿真

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摘要

MEMS压力传感器具有体积小、灵敏度等优点,发展前景广阔.本文采用工艺模拟软件结合文献设计一种MEMS压力传感器制备方法,制备出符合要求的芯片,明确了仿真设计在MEMS压力传感器工艺设计的可行性.

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来源
《电子世界》 |2016年第19期|174-175|共2页
作者
王健; 赵华强; 李盛楠; 曹正宗;
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作者单位

沈阳化工大学;

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正文语种 chi
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关键词
压力传感器; 仿真; silvacoTCAD; 工艺;

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