微机电系统（MEMS）的测量热点

摘要

微机电系统(MEMS)经10年的实际应用,已证实可批量生产,首先在压力传感器和加速度计方面获得成功,以其体积小巧和灵敏度高,在许多应用中代替传统的压力传感器和加速计,例如用于汽车防撞气囊,产量每月超过一百万支。随着时间的推移,出现速率传感器、陀螺、射频开关、光学开关和化学/生物MENS,亦即进入传统传感器并超越传统传感器的领域。 MEMS既在半导体工艺基础上发展而来,但涉及材料、技术和测量又比半导体工艺复杂。