多晶硅提纯电子束熔炼炉高压电源的研究

摘要

利用电子束熔炼炉制备提纯多晶硅,是一种新型且已成功应用到工业生产中的制备方式,其具有制备效率高、对环境无污染、节约能源等优点.结合电子束熔炼炉高压电源控制器的特点与目前存在的缺点,提出一种利用可控电抗器调压的电源控制方案,并介绍了工作原理及电路特点.实验表明,该控制方式能精确地调节输出电压,其本身还具有自然限流特性,且达到了性能指标.整个系统稳定可靠,克服了传统的晶闸管交流移相调压控制方式的诸多缺点,其还具有输入内阻小、短路内阻大、功率因数及运行效率高、对电网无“公害”等优点.