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Roger H.Grace; Mary ann maher;
MEMS; 封装形式; 级设计; 芯片; 装配成本;
机译:一种用于生物MEMS应用的使用表面微加工多晶硅盖封装MEMS致动器的倒装芯片封装方法
机译:植入式MEMS器件上倒装芯片的封装和非密封封装技术
机译:芯片对芯片粘合MEMS封装中分层的可靠性评估
机译:MEMS芯片级封装和多芯片模块封装的制造技术
机译:用于芯片级MEMS封装的金属化光纤连接的鉴定。
机译:包装和非气密封装技术适用于植入式mEms器件倒装芯片
机译:考虑引线封装相互作用的封装芯片中键合引线的热仿真
机译:mEms / mOEms / BiomEms /芯片实验室的可靠性
机译:加强了用于微机电系统(MEMS)的外壳结构,其保护性树脂覆盖MEMS芯片,控制芯片,导线和引线框架的一部分,而封装则覆盖保护性树脂,MEMS芯片和引线框架的一部分
机译:MEMS芯片封装和用于制造MEMS芯片封装的方法
机译:半导体器件倒装芯片系统的侧键合方法,MEMS器件封装以及使用该封装的封装方法
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