山东大学微电子器件及可靠性研究取得突破

摘要

据《光明日报》报道，山东大学以苗庆海教授为学术带头人的科研团队在“微电子器件及其可靠性”研究方面取得突破性的进展。该成果的选题来源于闲扰微电子学领域的一个国际性科技难题．即用电学方法测量微电子器件芯片温度分布不均匀性的难题。对于被密封在半导体内看不见、摸不着的芯片，课题组以发现的“小电流过趋热效应”为突破口，应用MQH算法．建立了基于电学测量方法的“微电子器件热谱分析方法”，较圆满地解决了这一国际性难题。