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腐蚀防护中两种镀层厚度测量方法的优劣探讨

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介绍了工厂常用的x射线荧光法测量镀层厚度的基本原理,以及用新型扫描电镜对金属镀层进行厚度测量的方法及其主要注意事项;并就两种方法的优劣进行了比较分析.

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来源
《电子产品可靠性与环境试验》 |2001年第5期|27-30|共4页
作者
古关华;
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作者单位

信息产业部电子第五研究所,;

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正文语种 chi
中图分类 0 34.6;
关键词
归一化计数率; x射线荧光; 样品制备;

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