利用3D打印技术制备Al2 O3微波无源器件

摘要

cqvip:以Al2O3陶瓷粉为原料,采用立体光固化成型技术制备微波介质谐振器和滤波器;采用扫描电子显微镜(SEM)表征材料的形貌,用阿基米德排水法对材料致密度进行了测试,用平行板谐振法对谐振器微波性能进行测试;通过调控陶瓷膏料中有机成分(反应单体、反应稀释剂、分散剂、光引发剂等)和无机成分(Al2O3及其掺杂)的比例,对打印参数和烧结曲线进行控制,实现了Al2O3谐振器成型精度的精确控制。结果表明:当激光器功率500mW,扫描速率2500mm/min,材料固含量60%(体积分数),脱脂温度600℃,排胶速率1℃/min,烧结温度1700℃时,可以实现97.5%的理论密度,相对介电常数9.8,Q·f值20184.25GHz(f=12.11GHz),满足实际应用需求。这为制备复杂结构的微波无源器件提供了新的潜在技术途径。