Al掺杂ZnO厚膜的sol-gel法制备及其气敏性能研究

摘要

以硝酸锌、硝酸铝和氢氧化钠为原料,采用sol-gel法制备铝掺杂的纳米氧化锌厚膜(样品),并利用XRD和SEM对其微观结构进行了表征.研究了铝掺杂量和退火温度对ZnO厚膜的气敏性能的影响.结果表明:700℃退火,掺w(Al)为2.9%的样品对体积分数为4.0×10-1的丙酮有很好的选择性,最大灵敏度达到7 779左右,最佳工作温度约为162℃,响应,恢复时间均为1 s,最后讨论了铝掺杂纳米氧化锌的气敏机理.