Sol-gel法制备ZnO-TiO2厚膜及其气敏特性研究

摘要

以钛酸丁酯的水解反应制备了ZnO掺杂的纳米TiO2厚膜.通过XRD和SEM对不同退火温度下制备出的不同掺杂量的ZnO-TiO2粉体进行物相分析和表面形貌比较,并利用气敏测试系统检测其气敏特性.讨论了掺杂量和退火温度对ZnO-TiO2厚膜气敏特性的影响,同时分析了其气敏机理.结果表明:700℃退火,w(ZnO)=4％的ZnO-TiO2结晶尺寸达到26.8 nm,体现出对丙酮蒸气单一的选择性,灵敏度为8 913,响应和恢复时间均为2s.