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深亚微米; 集成电路; 铜互连; 铝互连;
机译:用于深亚微米集成电路制造的化学机械平面化过程中终点检测的全面综述
机译:深亚微米双镶嵌铜互连电迁移引起的电阻退化的灾难性故障的实验和建模
机译:超大型集成电路中碳和铜互连性能的全面比较研究
机译:深亚微米集成电路制造过程中声发射对铜覆层化学机械抛光的终点监测
机译:集成电路上的铜互连可靠性。
机译:化学集成电路:互补金属氧化物半导体集成电路上的化学系统
机译:深亚微米铜互连中的层内介电可靠性
机译:用于高速,高密度电路中电沉积铜互连质量控制的断裂测试
机译:在集成电路制造过程中形成铜互连的方法
机译:集成电路铜互连过程中铜化学机械抛光的优化方法
机译:抛光组合物,抛光半导体集成电路表面的方法以及生产半导体集成电路铜互连的方法
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