一种数据驱动的启发式熔融石英皮秒激光去除模型

摘要

为探究不同加工参数下熔融石英的皮秒激光扫描去除表面创成机理,采用了一种基于启发式规则的熔融石英皮秒激光扫描去除模型,综合考虑激光能流密度分布、激光-材料相互作用及孵化效应等因素,通过遗传算法训练确定了模型中的待定参数与映射关系。基于该模型,对熔融石英皮秒激光去除过程进行数值重建,给出了加工去除过程中截面轮廓侧壁倾斜与底边收窄现象的半定量解释。最后,该模型还被用于具有特定截面形态微槽结构的加工流程规划,其预测效力得到了实验验证。