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邹丽芸; 张院春; 彭良强; 黄军容; 伊福延; 张菊芳; 韩勇;
北京市机电院高技术股份有限公司;
北京100002;
中国科学院高能物理研究所;
北京100039;
微细加工; LIGA技术; 电火花加工; 活动掩膜法; 固定掩膜法; PMMA胶;
机译:基于LIGA技术的细菌灭活的微芯片的开发
机译:基于LIGA技术的具有离子源和气泵双重功能的集成微加工芯片
机译:基于SU-8 UV-LIGA技术的新型140 GHz折叠波导的设计,制造和测量
机译:基于微细电火花加工中电极圆锥底形状的定长补偿的算法和实验研究
机译:使用UV-LIGA技术设计和制造电磁微型继电器。
机译:基于LIGa技术的双功能集成微型芯片作为离子源和空气泵
机译:使用LIGa技术为X射线太阳成像光谱仪制作子准直网格
机译:基于移动响应行为的市场优化研究
机译:基于移动响应位置的市场优化研究
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