基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究

邹丽芸; 张院春; 彭良强; 黄军容; 伊福廷; 张菊芳; 韩勇

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基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究

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比较了活动掩膜法与固定掩膜法得到的PMMA胶结构,实验表明固定掩膜法更适合于多次曝光.结合LIGA技术和微细电火花加工的优点,用LIGA技术制备出具有复杂形状的铜微细工具电极,再用该工具电极进行微细电火花加工,在不锈钢上加工出异形微细孔.并通过进一步调整电火花加工工艺参数,优化了加工尺寸精度和表面粗糙度.

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来源
《电加工与模具》 |2004年第z1期|39-41|共3页
作者
邹丽芸; 张院春; 彭良强; 黄军容; 伊福廷; 张菊芳; 韩勇;
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作者单位

北京机电院高技术股份有限公司;

中国科学院高能物理研究所;

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正文语种 chi
中图分类金属切削加工及机床;
关键词
微细加工; LIGA技术; 电火花加工;

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