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ESD相关电场测量研究

         

摘要

对静电放电(ESD)过程的相关电场进行了理论计算和定性分析,然后利用两个不同测量方案对ESD电场进行了测量,对过渡区的测量波形和理论计算波形定性比较分析发现,二者基本吻合.

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