双面N型电池发射极钝化工艺技术研究

摘要

双面N型电池有望成为未来高效电池市场的一个重要电池类型,而硼发射极的钝化处理对于高效N型电池而言至关重要.本文对低成本、 低温干法氧化钝化硼发射极技术进行了详细的研究,分析了温度及时间因素对低温干法氧化效果的影响,并制备获得了正面效率18.5%、 背面效率16%、 综合效率达21.7%的双面N型电池.由于低温干法氧化使用的设备为生产线通用的管式炉,具有设备费用低、 工艺容易控制的优点,在N型双面电池大规模生产工艺推广中有很大的潜力.