热载流子效应及其对器件可靠性影响的研究

摘要

该文主要阐述了热载流子效应产生的物理机制及器件的退化,进一步介绍了在JEDEC标准中,对可靠性模型寿命计算做出的规范下,目前使用的三种寿命计算模型:衬底电流模型,Vd模型,Isub/Id模型(即:胡模型),基于这些模型对器件寿命的估算,将为集成电路设计中器件优化与工艺改进提供重要参考信息。