CMOS集成温度传感器

摘要

基于TSMC的65nm CMOS工艺,利用CMOS工艺下寄生PNP晶体管的温度特性,设计了一款片内的集成温度传感器.文中分析了CMOS温度传感器的工作原理,重点介绍了感温电路、采样比较电路、逐次逼近型数模转换关键电路的设计实现.试验结果表明,在-40oC~120 oC的温度范围内,该温度传感器系统的温度误差小于2oC,功耗为0.75mW.