高速微细电加工技术的动向

摘要

一、尖端技术和微细加工在发展尖端技术时,必须有各种微细加工技术。在这方面,最微细的形状加工大约是用电子线超微细加工集成电路了。因集成电路在增加集成度时,必须将其中动作信号向外引出。从而,输入输出引线增多,必须制造有许多微细引线的框架。约瑟夫森元件在高速运算计算机中大有前途,但每只元件有几百根接触引线,必须实施使雄、雌引线可靠配合的位置加工。