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CVD金刚石薄膜基体材料的选择

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摘要

论述了CVD金刚石薄膜基体材料的性质,给出了选择金刚石薄膜基体材料的方法,并对各种材料的膜基结合力情况作了简要评述.

著录项

来源
《金刚石与磨料磨具工程》|2004年第3期|50-51|共2页
作者
方莉俐;
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作者单位

郑州大学物理系.郑州,450052;

中原工学院基础部,郑州,450007;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜技术;人造宝石、合成宝石的生产;
关键词
金刚石薄膜; 基体材料; CVD;

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