TiN0.3/AlN复合烧结界面扩散现象

摘要

为研究TiN0.3/AlN复合烧结体中两相界面区域的N原子的扩散现象，通过机械合金化方法制备出非化学计量比TiN0.3，采用放电等离子体烧结技术分层及复合烧结TiN0.3/AlN复合材料，采用金相、XRD、SEM、EDS及TEM等分析表征TiN0.3/AlN复合材料的物相组成、元素分布和组织形貌。结果表明：AlN中的N通过空位扩散机制向TiN0.3中扩散，其扩散程度逐渐减弱；与AlN接触的TiN0.3部分由于吸收了来自AlN中的N使成分接近正常比例的TiN，而远离界面处的部分则接近TiN0.3的成分；在两相结合区域有宽度在1 nm以下的非晶层，其电子衍射斑点出现纵向伸长，产生共格，说明六方结构的AlN晶格向TiN晶格畸变，形成面心立方结构的TiN0.3/AlN。