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基于功能特性的MEMS表面结构三维测量评定探索

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摘要

MEMS表面结构质量对其功能特性具有重要的影响,本文专门探索研究了MEMS表面结构三维测量评定,主要分析了其表面结构质量对其功能特性影响,并举例进行了分析;提出了基于功能特性的MEMS表面结构三维测量评定综合参数、测量评定流程方案.

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来源
《机电产品开发与创新》 |2007年第5期|145-147|共3页
作者
孙保启; 杨东拜; 丁红宇;
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作者单位

机械科学研究总院,北京,100044;

机械科学研究总院,北京,100044;

机械科学研究总院,北京,100044;

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正文语种 chi
中图分类公差与技术测量及机械量仪;
关键词
功能特性; MEMS(微机电系统); 表面结构; 三维测量评定;

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