基于光场调控的飞秒激光直写光波导研究进展(特邀)

摘要

飞秒激光直写是一种无掩模、高效、灵活的三维加工技术,可以对材料实现微纳米级加工,已经成为应用最广泛的材料精密加工技术之一。基于光波导的微纳光子器件(如分束器、频率转换器和电光调制器等),不但可以保持块体材料本身的优异特性,还能极大提高器件的性能和集成度,具有块体材料器件所不具备的特点和优势。因此,对集成光波导和光波导器件的研究,一直是集成光学和现代光通信领域的研究热点。利用光场调控技术,对传统的飞秒激光高斯光束进行整形,能够大幅度提升波导加工效率和质量。本文从光束整形出发,综述了整形飞秒激光直写光波导的最新研究进展,并对潜在的几个研究方向进行了展望。