大面积生长金刚石相关物理参量的空间分布

摘要

研究了在热丝化学气相生长金刚石的过程中、衬底温度、衬底表面附近的气体温度以及气流的 质量流密度分布对金刚石膜的形核和生长的影响，模拟计算结果表明，这三个参量是空间位置的函数，在 某些区域，这三个参量均匀分布。当热丝阵列面与衬底间距离超过７ｍｍ之后，这三个参量在衬底上有一 个较大的均匀区域，在该区域的两侧，各参量值显著变化，在衬底中心的均匀区域，金刚石膜晶形清楚而致 密；偏离该区域，这三个参量数值明显下降，形核密度和生长速度较低，三个参量值均匀的区域可作为金刚 石大面积均匀的形核和生长的位置。