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聂君兰; 谷坤明; 汤皎宁;
深圳大学材料科学与工程学院特种功能材料重点实验室;
深圳大学;
含金属C薄膜; ECR溅射镀膜; 磁控溅射; 石墨靶;
机译:氩气流量对MW ECR PACVD制备的DLC薄膜表面形貌和粗糙度的影响
机译:通过ECR-CVD生长的DLC(类富勒烯)薄膜中的金属结合策略
机译:MW-ECR等离子体增强磁控溅射制备的基于SiC基薄膜的连续组成扩散研究
机译:结合金属纳米粒子改善通过ECR-CVD生长的DLC(富勒烯状)薄膜的摩擦学性能
机译:通过热线和ECR-等离子CVD技术制备的纳米晶硅薄膜太阳能电池的结构和电子性能。
机译:Ti6Al7Nb衬底上磁控溅射制备的Si-DLC涂层的表面特性和生物学评价
机译:不同氮流量比对反应磁控溅射制备(Hf:N)-DLC薄膜光学性质的影响
机译:射频磁控溅射制备Gaas薄膜
机译:用射频磁控溅射法和薄膜太阳能电池用射频薄膜制备木质薄膜的方法
机译:制备抗体结合物的新方法和抗体结合物的新方法
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