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陈德鹅; 吴志明; 李伟; 王军; 袁凯; 蒋亚东;
电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室;
光刻; AZ-5214; 剥离工艺; 图形反转; 断面模拟;
机译:GaAs金属绝缘体半导体场效应晶体管,采用Al层作为抗蚀膜的新工艺形成的Ox氮化栅膜,用于选择性刻蚀,Ox氮化和剥离。
机译:用于金属基板上的柔性薄膜太阳能电池的陶瓷阻挡层:用于工艺优化和阻挡层特性的实验室规模研究
机译:使用溶液处理的金属氧化物作为牺牲层的新型剥离工艺对溶胶-凝胶衍生的PZT膜进行精细构图
机译:用于电镀和剥离金属层的干膜工艺开发
机译:航天器应用原子层沉积工艺的实验与图形理论研究
机译:富勒烯作为粘合剂层用于机械剥离金属分子和聚合物薄膜
机译:mIs(金属 - 绝缘体 - 半导体)反转/累积层,异质结和量子阱中二维受限载流子的电子性质研究。
机译:重氧化工艺后在包含多晶硅的栅电极上形成金属氮化物层和金属层图形的方法来形成栅叠层的方法
机译:在绝缘基板上形成导电迹线的图案-在光致抗蚀剂图案上通过电弧放电沉积的金属层上采用剥离=剥离工艺
机译:用于去除塑料零件上的漆层的油漆剥离方法是在油漆剥离液中浸渍工艺以从塑料零件上剥离搪瓷
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