不同籽晶对多晶硅晶体生长的影响

摘要

通过在坩埚底部铺设籽晶来控制形核的同步性,获得均一等大的硅晶粒,实验采用铺设硅粉、颗粒料、碎硅片三种籽晶来诱导硅晶体生长,结果表明硅粉籽晶生长硅晶体晶粒均匀性最好。采用硅粉籽晶所生产硅锭效率比碎硅片籽晶高0.3%。