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全息平面变间距光栅位移传感器研究

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摘要

基于变间距光栅位移传感器的基本原理,研究了高线密度变化率全息平面变间距光栅的制作方法.所作的变间距光栅已应用在变间距光栅位移传感器中,原理样机测试结果表明,系统分辨率可以达到0.05mm,相对误差可以控制在0.2%FS之内,优于设计指标.

著录项

来源
《光子学报》 |2007年第4期|655-658|共4页
作者
楼俊; 付绍军; 刘正坤; 徐向东; 何世平; 李秉实; 吴忠;
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作者单位

中国计量学院光电子技术研究所;

中国科学技术大学国家同步辐射实验室;

西安航空618研究所;

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正文语种 chi
中图分类物理光学（波动光学）;仪器、仪表;
关键词
全息光栅; 变间距光栅; 位移传感器;

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