变间距光栅设计、制作及其在位移传感器中的应用研究

摘要

本文对变间距光栅设计、制作及其在位移传感器中的应用进行了研究。文章介绍了衍射光栅原理、分类及其应用，阐述了以光程函数为基础的全息变间距光栅几何理论，研究利用遗传算法对全息VLS光栅光路进行优化计算，推导出了目标函数的积分形式，计算了球面波干涉及球面波与非球面波干涉情况下的全息记录参数，给出了线密度误差曲线，分析了记录参数误差对线密度分布的影响，研究了不同记录参数情况下的刻线弯曲程度，并给出了用于评价光栅刻线弯曲程度的表达式，介绍了VLS光栅位移传感器的基本原理及其系统结构，并给出了衍射波长曲线和位移误差曲线。

目录

文摘

英文文摘

第一章绪论

第二章衍射光栅原理与应用简介

第三章变间距光栅全息曝光光路优化设计

第四章变间距光栅制作

第五章变间距光栅位移传感器研究

第六章总结与展望

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致谢